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该系统可检测LED基板外延片的镀膜不均匀、亮点、黑色脏污等缺陷，可检测LED芯片电极针痕、电极刮伤、缺失、划痕、斜切、脏污、异色等缺陷。检测精度：1.5um；检测后，会将不合格的芯片的位置反馈给剔除系统。
该系统可检测LED基板外延片的镀膜不均匀、亮点、黑色脏污等缺陷，可检测LED芯片电极针痕、电极刮伤、缺失、划痕、斜切、脏污、异色等缺陷。检测精度：1.5um；检测后，会将不合格的芯片的位置反馈给剔除系统。
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